Jak se globální polovodičový proces posouvá směrem k pokročilým uzlům 3nm/2nm, přesné titanové materiály (ASTM B265/B348, vysoce čistý titan třídy 1/2/5 a slitiny titanu) přecházejí z „pomocných materiálů“ na klíčové strategické materiály pro výrobu polovodičů, s výhodami ultravysoké čistoty,- ultravysoké}, jako je- ultravysoká}} nečistoty, silnou tepelnou stabilitu, odolnost proti korozi a ne{10}}magnetické vlastnosti. Pozornost trhu a poptávka se synchronně zvyšují.
Hlavní ovladač: Pokročilé procesy si vynucují upgrade materiálu
Pokročilé polovodičové procesy (5nm a méně) vyžadují tři hlavní tvrdé požadavky na materiály: přesnost na úrovni nanometrů, čistotu na atomární úrovni a extrémní environmentální stabilitu:
-Titanový terčový materiál s vysokou čistotou (třída 1, čistota větší nebo rovna 99,999 %/5N): PVD naprašovací jádrový materiál, používaný pro měděnou propojovací bariérovou vrstvu, kontaktní zástrčku, aby se zabránilo difúzi atomů mědi před kontaminací křemíkových plátků, přímo určující výtěžnost a výkon čipu, vhodný pro celý proces 130-3nm.
-Přesné konstrukční součásti (stupeň 2/5): pracovní stůl litografického stroje, komora leptacího stroje, vakuová příruba, plátkové robotické rameno atd., s nízkým koeficientem tepelné roztažnosti (8,6 × 10 ⁻⁶/stupeň) a deformací při kolísání teploty pouze 1/3 hliníkové slitiny, což zajišťuje přesnost polohování na úrovni nanometrů
-Součásti odolné proti korozi (stupeň 7): Odolné vůči silné kyselé/halogenové korozi v zařízeních pro mokré leptání a čištění, bez znečištění srážením kovů, vhodné pro vysoké vakuum a extrémní pracovní podmínky se silnou plazmou.
Hlavní výhody amerických standardních titanových materiálů
1. Ultra vysoká čistota + ultra-nízké nečistoty: americký standardní titan vysoké-čistoty Grade 1 s regulovatelnými nečistotami kyslík/dusík/uhlík<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Tepelná stabilita+rozměrová přesnost: nízká tepelná vodivost (21,9W/(m · K)), malý koeficient tepelné roztažnosti, tolerance do ± 0,005 mm, hladkost povrchu Ra Menší nebo rovna 0,4 μm, vhodné pro montáž v nanoměřítku a vakuové těsnění.
3. Odolnost proti korozi+ne-magnetická+nízké uvolňování plynů: samoopravná vrstva přirozeného oxidu-, odolná vůči korozi Cl ₂/F ₂/silné kyseliny; Nemagnetické a nerušící přesné obvody; Rychlost uvolňování vzduchu je extrémně nízká pod ultra-vysokým vakuem (UHV), což zajišťuje čistotu komory.
4. Lehká a vysoká pevnost: Hustota 4,51 g/cm ³ (o 40 % lehčí než nerezová ocel), Stupeň 5 pevnosti v tahu Vyšší nebo rovna 930 MPa, měrná pevnost dvakrát větší než u nerezové oceli, vhodná pro požadavky na lehkost vysokorychlostních{5}}pohyblivých částí.
Scénáře hlavních aplikací
-Titanový terčový materiál s vysokou čistotou (třída 1): nanášení PVD naprašováním, používané pro bariérovou vrstvu logických/úložných čipů a adhezivní vrstvu, s velikostí celosvětového trhu 1,87 miliardy amerických dolarů v roce 2024 a CAGR 9,3 % od roku 2026 do roku 2030.
-Vakuová komora/příruba (stupeň 2): Vakuový systém pro leptací a nanášecí zařízení, odolný vůči vysokému tlaku, nízkému uvolňování plynu a spolehlivému utěsnění.
-Přesné robotické rameno/koncový efektor (stupeň 5): přenos plátků, lehká a vysoká-pevnost, přesné umístění a žádné vylučování částic.
-Obložení/přípravky odolné proti korozi (stupeň 7): Zařízení pro mokré zpracování, odolné vůči silným kyselinám, jako je HF/HCl, prodlužuje životnost zařízení a snižuje náklady na údržbu.
Trend na trhu: domácí substituce + technologický průlom
Expanze globální kapacity polovodičů (zejména v čínské pevnině) způsobila rychlý růst poptávky po přesných titanových materiálech. V roce 2023 přesáhne velikost čínského trhu přesných titanových dílů pro polovodiče 3 miliardy juanů s roční mírou růstu o více než 25 %. Bylo dosaženo stabilní hromadné výroby amerických standardních přesných titanových materiálů Grade 1/2/5 (včetně 0,05 mm ultra-tenké titanové fólie, vysoce{10}}čistoty cílových materiálů a přesných konstrukčních komponentů) s tolerancemi a čistotou dosahujícími mezinárodní pokročilé úrovně, což napomáhá tomu, aby byl řetězec polovodičového průmyslu nezávisle kontrolovatelný.
V rámci pokročilých procesů a domácí náhrady pohonu dvou kol se přesné titanové materiály, které splňují americké normy, staly základní podporou pro modernizaci polovodičového průmyslu. V budoucnu budou i nadále pronikat směrem k vyšší čistotě (6N), tenčím specifikacím (méně než nebo rovno 0,05 mm) a přesnějšímu obrábění (± 0,002 mm).
Vyžádejte si cenovou nabídku
E-mail:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
